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干式真空泵系列

青岛干式真空泵

  • 产品名称:青岛干式真空泵
  • 产品分类:干式真空泵系列
  • 公司名称:卡塞尔机械(浙江)有限公司
  • 联系方式:135-7576-9127 153-5682-6256
  • 公司地址:浙江安吉天子湖工业园天子湖大道卡塞尔工业园
  • 添加时间: 2020/11/09
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干式真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
干式真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

干式真空泵


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更新时间:20/11/09 16:24:11  

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